人员发尘是洁净室内空气污染源的最主要来源，占80%~90%。人动作时的发尘量相当复杂，人静止时的发尘量和激烈活动时的发尘量大约相差10倍。根据工艺性质、人的动作的多少和强弱的不同，这个倍数是不同的，可以分为较低和较高两类，分别为3倍和7倍于静止发尘量的数值，相应为3×105粒/（min?人）和7×105粒/（min?人）。
当然，人体发尘量还与服装有很大的关系，和服装的洗晾、吹淋等也有很大关系。根据实际使用情况和实验测定，尼龙绸洁净服发尘量最少，棉的确良洁净工作服的发尘量比尼龙绸的大。如果在尼龙绸衣服内加穿一件棉的确良工作服，则可使尼龙绸工作服的发尘量进一步降低。此外，洁净工作服不宜揉洗，洗后应在洁净环境中晾干。
设备的产尘以转动设备尤为突出，电动机、齿轮转动部件、伺服机械部件、液压和气动启动器开关或人工操作的设备，都会由于移动着的表面之间的摩擦而产生微粒。日本及西方工业国家对洁净室常见的不同运转方式、不同速率、不同材质的机械设备的典型动作和某些电器的产尘进行了相应的实验研究。对洁净室的机械、电器污染源给出了一些尘粒散发量的可参考数值，为洁净室通风设计提供了计算依据。
与洁净室周边相邻或相通的，较低洁净度的区域或非洁净区域，由于人员、材料的进出携带的污染空气，或沉降在人员、物料上的污染物被带入，是影响室内洁净度的另一个重要污染来源。合理的正压差是减少通过围护结构的缝隙和传递窗、门、传送带开口等孔洞侵入污染空气的重要措施。设在门口的气闸室、缓冲室以及空气吹淋室也有一定作用。但完全避免周边污染区域对洁净室环境的干扰与影响也是困难的，特别是洁净室在外门的附近区域。因此，关键工艺区域宜远离外门。
洁净室空调送风系统的末端装置——高效空气过滤器或超高效空气过滤器，在正常情况下能有效过滤经空调机组处理的新风和回风中的颗粒污染物。经高效、超高效空气过滤器处理后的洁净空气送入室内，可有效地排替、冲淡室内污染物，以维持室内的洁净度。
但末级过滤器如有破损或过滤器与支撑框架间的密封出现裂隙，气密性失效，那么未经高效空气过滤器过滤的空气就可能携带大量污染粒子进入室内并随气流扩散，危害影响范围较大。因此洁净室投入使用前的末级过滤器检漏、堵漏或更换工作十分重要。运行过程中防范末级过滤器受损，也十分重要。高效过滤器到达使用寿命后及时更换也同样应予以关注。 |
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